Neuartige Ausheilverfahren in der SOI-CMOS-Technologie uri icon Abschlussarbeit

Überblick

Beschreibung

  • Neuartige Ausheilverfahren in der SOI-CMOS-Technologie

Freigegeben

  • Ja

Freigegeben

  • Ja

Zeitraum

  • 01.01.2006 - 30.04.2011

Doktorand/in (ohne Profil)

  • Illgen, R

Kooperierende Universität

  • TU Dresden

Anderes

Kuratierungs-Zielkategorie (intern)

  • Ja