Optimization of Stressor Overlayer Parameters for MOSFET's in "Cool Silicon" – Technologies uri icon Konferenz-Paper

Peer Reviewed

Überblick

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  • Ja

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AutorInnen

  • Baldauf, Tim
  • Illgen, Ralf
  • Flachowsky, Stefan
  • Herrmann, Thomas
  • Feudel, Thomas
  • Höntschel, Jan
  • Horstmann, Manfred
  • Klix, Wilfried
  • Stenzel, Roland

Autor/in (verknüpft)

  • Stenzel, Roland  Professor für Grundlagen der Theoretischen Elektrotechnik
  • Baldauf, Tim  Professor für Theoretische Elektrotechnik / Optoelektronik

Open-Access-Kennzeichnung

  • Closed Access

Peer Reviewed

  • Ja

Sprachen

  • englisch

Anderes

Autor/in (Veranstaltung)

  • Stenzel, Roland  Professor für Grundlagen der Theoretischen Elektrotechnik
  • Baldauf, Tim  Professor für Theoretische Elektrotechnik / Optoelektronik

Kuratierungs-Zielkategorie (intern)

  • Ja