Freigegeben

• Ja

Freigegeben

• Ja

AutorInnen

• Gorbunoff, André

Fakultät/Einheit

• Fakultät Maschinenbau

Veröffentlichungszeitpunkt

• 2002

Autor/in (verknüpft)

• Gorbunoff, André  Professor für Technische Physik

Open-Access-Kennzeichnung

• Closed Access

Peer Reviewed

• Nein

Sprachen

• englisch

Reihe

• Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 9, Elektronik/Mikro- und Nanotechnik

Im Bibliotheksbestand

• Ja

Schlagwörter

• Dünnschichttechnik
• EXCIMERLASER (LASERTECHNIK)
• Excimerlaser
• Impulslaserbeschichten
• LASERANWENDUNGEN (LASERTECHNIK)
• Laserablation
• Laserlithografie
• NANOSTRUKTUR (PHYSIK DER KONDENSIERTEN MATERIE)
• Nanostrukturiertes Material
• Nanotechnologie

Internationale Standardbuchnummer (ISBN) 10

• 3183357097

Alma MMS-ID

• 995926502581

Erscheinungsort

• Düsseldorf

Kuratierungs-Zielkategorie (intern)

• Ja