Beteiligung
- Entwicklung eines Ionenmobilitätsspektrometrie- und Photoionisations- Technologie basierten Echtzeitmesssystems zum empfindlichen Nachweis schädlicher Verunreinigugnen in der Wasserstoff- und Brennstoffzellen-Technologie
- Entwicklung eines MEMS-basierten Ionenmobilitätsspektrometers für die Detektion flüchtiger organischer Stoffe
- Entwicklung eines Verfahrens zur dreidimensionalen Mustererkennung bei GCIMS Spektren und Implementierung des Verfahrens in eine Software zur Offline-Auswertung von GCIMS Messreihen
- Entwicklung intrumenteller Methoden zum Echtzeitmonitoring von Airborne Molecular Contamination (AMC) bei der Herstellung und Strukturierung von Wafern auf der Grundlage der Ionenmobilitätsspektrometrie und GC-Photoionisation
- Entwicklung und Integration eines http-basierten Webservers und Implementierung eines XML-Webservice in STEP-IMS Software für GTD-M
- Erarbeitung von Verfahren zur Identifikation und Analyse der Deckungsgenauigkeit bei der Wafer-Lithografie (Overlay) sowie Entwicklung von Korrekturmethoden durch den Entwurf eines Plugins mit Interpolationsverfahren für einen Run-to-Run-Prozesscontroller
- Gefahrstoff-Probenahme mit unbemannten Flugsystemen (CBRN_UAS_PROBE)
- Grundlegende Entwicklung für die Detektion flüchtiger organischer Stoffe mittels MEMS basiertem Ionenmobilitätsspektrometer (DoSIs)
- KMU-innovativ Verbundprojekt: Gefahrstoff-Probenahme mit unbemannten Flugsystemen (CBRN-UAS-PROBE) - Teilvorhaben: Konzeption und Entwicklung von Bedien- und Steueralgorithmen für die Probenahmemodule
- Softwareentwicklung für IMS