Entwicklung eines Simulationswerkzeuges für die Halbleiterfertigung
Projekt
Überblick
Beschreibung
Die Planung und Steuerung des Produktionsablaufes in der Halbleiterfertigung wird Allgemein hin als sehr komplexes Planungsproblem angesehen. Ursachen hierfür sind u.a. die komplexen Prozessbedingungen wie der Organisation als Werkstattfertigung, der Begrenzung von Liegezeiten zwischen einzelnen Prozessschritten oder dem Einsatz von Batch-Equipments. Im Rahmen des Forschungsprojektes wird ein Werkzeug entwickelt, mit dessen Hilfe ein solches Produktionssystem abbildbar und analysierbar ist.
